Промышленные сверхвысоковакуумные установки фирмы RIBER для молекулярно-лучевой эпитаксии

Riber - технологический лидер на рынке промышленных МЛЭ систем. Ключевые цели Riber при проектировании и изготовлении промышленных МЛЭ установок - высочайшее качество материалов, выращиваемых с высокой производительностью.

В 1991 году, спустя шестнадцать лет после того, как Riber изготовила первую коммерческую машину МЛЭ (MBE 500), Riber представила на рынок первую полостью автоматическую промышленную установку МЛЭ - MBE 49. Эта машина включила в себя много передовых разработок и даже сейчас ни одна другая система не может предложить такой полной и надёжной автоматики. Этот технический прорыв позволил использовать машины без остановок, что привело к увеличению эффективности, снижению стоимости при минимальном риске сбоя, таким образом проложив путь для сегодняшнего применения МЛЭ как основного метода для массового изготовления подложек.

В 1996 году Riber представила новую версию MBE 49 с возможностью загрузки подложек с держателем 4 шт. по 4", а двумя годами позже компания сконструировала установку MBE 6000, первую установку с держателем подложек 4 шт. по 6".

Последняя модель из производственных машин МЛЭ - MBE 7000 - основана главным образом на конструкции машины MBE 6000, с тщательной проработкой конструкции с целью обеспечить строгие требования к чистоте, чтобы получить равномерный, точный и воспроизводимый эпитаксиальный рост таких структур как канальные транзисторы с затворами, образованными контактами Шотки (MESFETs); транзисторы с высокой подвижностью электронов (HEMTs); биполярные гетеротранзисторы (HBTs); оптоэлектронные устройства (лазеры). Riber считает, что эта система с держателем 7 шт. по 6" является самой оптимальной установкой из всех МЛЭ машин на рынке, которые позволяют производить высококачественные подложки.

ВЫБОР ПРОМЫШЛЕННОЙ МЛЭ СИСТЕМЫ

Выберите систему в соответствии с типом источника и размером подложки:

	Multi-1"	Multi-2"	Multi-3"	Multi-4"	Multi-6"	Multi-8"
CdHgTe	Epineat	Epineat
InSb	Epineat	Epineat
ZnSe	Epineat	Epineat
GaAs	Epineat	MBE49	MBE49	MBE49	MBE6000	MBE7000
InP	Epineat	MBE49	MBE49	MBE49
GaN	Epineat	Epineat
Diamond
Metals
SiGe
SiC

На главную

Фирмы-производители

Техническая
информация