Промышленная сверхвысоковакуумная МЛЭ установка RIBER MBE 6000

MBE 6000 Multi-6" промышленная сверхвысоковакуумная МЛЭ система позволяет выращивать за однин цикл девять четырехдюймовых или четыре шестидюймовых подложек. Эта система спроектирована для производства GaAs подложек для изготовления PHEMT, HBT, и MESFET транзисторов. Проверенная надежность установки и ее возможность работать в полностью автоматическом режиме 24 часа в день 7 дней в неделю обеспечивают наименьшую в мире стоимость производства подложек.

На сегодняшний день MBE 6000 является самой широко распространненной установкой из всех с держателем подложки 4 шт. по 6", с её представления в 1998 году поставлено более 20 систем. Такое количество продаж подтверждает высокое доверие компаний к технологиям Riber .

Основные характеристики:

• Высокопригодна для массового производства
• Загрузка 40×6" и 90×4" подложек в кассету
• Одиннадцать мест для высокообъемных МЛЭ источников
• Полностью моторизованные подача и перенос подложек
• Полностью автоматический процесс эпитаксии (Crystal™)
• Доказанная надежность и качество
• Простота установки и запуска
• Поддержка Riber в любой точке мира

На главную

Фирмы-производители

Техническая
информация