КОМЕФ Оборудование для заводских лабораторий,
приборы для научных исследований
Телефон/факс: (495) 916-1173 / 916-1594 / 916-1867. E-mail: komef@komef.ru
Адрес: 105120, Москва, Наставнический пер., дом 6, ООО "КОМЕФ"
MBE Systems

Промышленная сверхвысоковакуумная МЛЭ установка RIBER MBE 6000


Промышленная сверхвысоковакуумная МЛЭ установка

MBE 6000 Multi-6" промышленная сверхвысоковакуумная МЛЭ система позволяет выращивать за однин цикл девять четырехдюймовых или четыре шестидюймовых подложек. Эта система спроектирована для производства GaAs подложек для изготовления PHEMT, HBT, и MESFET транзисторов. Проверенная надежность установки и ее возможность работать в полностью автоматическом режиме 24 часа в день 7 дней в неделю обеспечивают наименьшую в мире стоимость производства подложек.

На сегодняшний день MBE 6000 является самой широко распространненной установкой из всех с держателем подложки 4 шт. по 6", с её представления в 1998 году поставлено более 20 систем. Такое количество продаж подтверждает высокое доверие компаний к технологиям Riber .

Основные характеристики:

  • Высокопригодна для массового производства
  • Загрузка 40×6" и 90×4" подложек в кассету
  • Одиннадцать мест для высокообъемных МЛЭ источников
  • Полностью моторизованные подача и перенос подложек
  • Полностью автоматический процесс эпитаксии (Crystal™)
  • Доказанная надежность и качество
  • Простота установки и запуска
  • Поддержка Riber в любой точке мира
















На главную

Фирмы-производители

Техническая
информация