Промышленная сверхвысоковакуумная МЛЭ установка RIBER MBE 7000

MBE 7000 Multi-8" промышленная МЛЭ система представлена на рынок в 2000 году и является самой передовой из всех МЛЭ установок в мире и способна выращивать семь шестидюймовых или четыре восьмидюймовые подложки за раз. Это позволяет на 75% повысить производительность, сохраняя при этом такойже отпечаток как предыдущие четырехдюймовые устройства.

Ведущие производители полупроводниковых устройств часто заказывают эти установки нового поколения, соответствующие самым строгим техническим требованиям при низких затратах на выпуск продукции.

Основные характеристики:

• Протестированная и проверенная конструкция
• Загрузка 40×8" и 70×6" подложек в кассету
• Десять мест для высокообъемных МЛЭ источников
• Полностью моторизованные подача и перенос подложек
• Полностью автоматический процесс эпитаксии (Crystal™)
• Основана на надежной и качественной MBE 6000
• Простота установки и запуска
• Поддержка Riber в любой точке мира

На главную

Фирмы-производители

Техническая
информация