Оборудование для заводских лабораторий, приборы для научных исследований |
||
Телефон/факс: (495) 916-1173 / 916-1594 / 916-1867. E-mail:
komef@komef.ru Адрес: 105120, Москва, Наставнический пер., дом 6, ООО "КОМЕФ" |
Полученные данные о вторичном потоке очень сильно зависят от химического состава окружающей среды и условий бомбардировки первичным потоком (ионы, энергия, угол). Это может добавить сложности при количественном аспекте анализа. Методика SIMS обеспечивает уникальное сочетание крайне высокой чувствительности для всех элементов от водорода до урана (предел определения вплоть до ppb-уровня многих элементов), воспроизведение изображения с высоким разрешением по плоскости (до 40 нм) и очень низкий фон, который обеспечивает большой динамический диапазон (больше, чем 5 десятичных разрядов). SIMS - разрушающая методика анализа по природе. Её можно применять к любому типу материалов (изоляторы, полупроводники, металлы), которые могут находиться в вакууме. Методика позволяет проводить как элементный, так и молекулярный анализ верхнего монослоя в статическом режиме SIMS. Она также позволяет исследовать объёмные структуры или распределение микроэлементов вглубь в динамическом режиме SIMS, с разрешением вглубь от 1 до 20-30 нм.
Вот почему методика SIMS одна из самых распространенных методик поверхностного анализа для углубленного исследования материалов. CAMECA разработала завершенный ряд SIMS-анализаторов, каждый из этих высокотехнологичных инструментов гарантирует наилучшее выполнение поставленной задачи.
|
На главную
|