КОМЕФ Оборудование для заводских лабораторий,
приборы для научных исследований
Телефон/факс: (495) 916-1173 / 916-1594 / 916-1867. E-mail: komef@komef.ru
Адрес: 105120, Москва, Наставнический пер., дом 6, ООО "КОМЕФ"

Методика анализа: EPMA

Сущность метода EPMA заключается в бомбардировке образца микроскопического объема фокусированным электронным пучком (обычно энергия составляет 5-30 кэВ) и анализе рентгеновских волн, возбужденных и испущенных различными видами элементов. Поскольку длины волн рентгеновских лучей характеризуют элементы, испускающие их, состав может быть легко установлен путем регистрации спектров WDS (Дисперсная спектроскопия по длине волны). Работа спектрометров WDS основана на законе Брагга с применением различных подвижных монокристаллов, работающих как монохроматоры.

Для лучшего понимания метода EPMA, см. устройство прибора CAMECA SX100 (64kB)
Подробная информация о приборе SX 100 здесь.
Литература описывающая теорию и практику метода EPMA, обширна. Вкратце, EPMA - полностью количественный и качественный метод не-деструктивного элементного анализа частиц микронного размера на поверхности материала, с чувствительностью на уровне ppm. Стандартная количественная оценка с воспроизводимостью до 1%, получаемая в течение нескольких дней. Это - наиболее точный на сегодня метод микроанализа, и с его помощью могут исследоваться все элементы от бериллия до урана. Другими основными характеристиками этого метода являются:
   - EPMA полностью совместим со стандартными анализами, с легкой и прямой интерпретацией результатов.
   - инструменты EPMA оборудованы полным набором встроенных микроскопов, позволяющих одновременное получение рентгеновских спектров (WDS и EDS), SEM и BSE изображений, плюс сложная оптика в видимом диапазоне; все это дает возможность очень гибкого исследования образцов с увеличением изображения от 40 до 400,000.
   - Возможно определение толщины и элементного состава слоев толщиной от nm до mm в многослойном материале.

Основные области применения: геохимия, минералогия, геохронология, физическая металлургия, ядерная металлургия, микроэлектроника, биохимия, материаловедение, включая стекло, керамику, сверхпроводящие материалы, цементы ...

EPMA дает гораздо лучшие результаты, чем стандартные системы SEM/ EDS. Благодаря свойствам, присущим WDS, такие характеристики EPMA, как общая чувствительность, анализ легких элементов гораздо выше, а риски ошибочной интерпретации количественных спектров ниже. Спектральное разрешение и время обнаружения гораздо лучше, чем в случае EDS (Energy Dispersive Spectroscopy).

Система регулировки пучка возбуждения и усовершенствованный предметный столик для установки образца гарантируют этому методу непревзойденную стабильность и воспроизводимость результатов.

EPMA тесно связан с CAMECA, поскольку именно здесь он впервые появился на промышленной основе. Работая в тесном сотрудничестве с проф. Р. Кастайном из Парижского Университета, и основываясь на его исследованиях, CAMECA внедрила свой прибор MicroProbe MS85 на рынок еще в 1958 г. Мировое признание пришло быстро, и прибор постоянно обновлялся и адаптировался к новым требованиям анализа. Это привело к разработке и внедрению последнего поколения моделей CAMECA EPMA SX100, запущенных в 1994 г.

На главную

Фирмы-производители

Техническая
информация