 |
Области применения приборов CAMECA |
| Применение |
SX100 |
IMS 7f, 4f-E7 |
IMS Wf SCU |
IMS 1280 |
NS50 |
Sh. Probe |
TAP |
| Геохомия, геология |
| Геохронология (U, Th, Pb) |
++ |
+ |
|
++ |
+ |
|
|
| Геохимия, стабильные изотопы (H, C, N, O, S...) |
|
+ |
|
++ |
+ |
|
|
| Распределение следов элементов (например редкоземельные элементы) |
+ |
++ |
|
++ |
+ |
|
|
| Минералогия, петрография, определение количества основных элементов |
++ |
|
|
|
|
|
|
| Гелиохимия, изучение внеземных объектов |
| Межзвёздная пыль, изотопный анализ мельчайших частиц |
|
+ |
|
+ |
++ |
|
|
| Метеоритный анализ |
++ |
++ |
|
++ |
++ |
|
|
| Полупроводники |
| Контроль производства: количество присадки, распределение по глубине, диффузия и нормализация, определение количества микроэлементов |
|
++ |
++ |
|
|
+ |
|
| Анализ дефектов: микроэлементы, загрязнение, диффузия |
|
++ |
++ |
|
|
|
|
| Телекоммуникации, компоненты III-V (GaAs, GaN, InP), SiGe |
|
++ |
++ |
|
|
+ |
|
| Инфракрасные датчики, компоненты II-VI (HgCdTe) |
|
++ |
++ |
|
|
|
|
| Лёгкие элементы: H, C, O, N |
|
++ |
+ |
|
|
|
|
| Сверхтонкие струкруры: Дозирование ULE присадок, B/Ge в SiGe. Оксинитриды |
|
+ |
++ |
|
|
+ |
|
| Анализ подложки, кассета в кассете FOUP/SMIF |
|
|
++ |
|
|
++ |
|
| Контроль на производственной линии |
|
|
+ |
|
|
++ |
|
| 2D отображение с высоким разрешением незначительного количества элементов и присадок |
|
|
|
|
+ |
|
|
| Материаловедение |
| Керамика, стекло: изучение покрытий, многослойности, диффузии |
+ |
++ |
|
|
++ |
|
|
| Металлургия: покрытия, изоляция, коррозия, радиоактиваное охрупчивание, загрязнение, осаждение, лёгкие элементы (C, O, N, Na) |
++ |
+ |
|
|
++ |
|
|
| Композитные материалы, мелкие включения, границы разделов |
+ |
|
|
|
++ |
|
|
| Окруж. среда, атомная промышленность: контроль безопасности, загрязнение, отходы, переработка |
+ |
++ |
|
|
+ |
|
|
| Катализ |
+ |
+ |
|
|
+ |
|
|
| Биология |
| Фармокология, внутриклеточное распределение препаратов |
|
|
|
|
++ |
|
|
| Свёртывание белков, отображение стабильных изотопов |
|
|
|
|
++ |
|
|
| Внутриклеточная биохимия |
|
|
|
|
++ |
|
|
"+" - прибор позволяет проводить измерение,
"++" - прибор особенно хорошо подходит для этого измерения. |
|
|
